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[单选题]近日,我国团队研发了一种全新的( )制备方法。使用该方法制备的( )纯度可达到99.9999%,阵列密度达到120/微米,该技术有望将集成电路技术推进到3nm节点以下。RTk答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
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