[单选题]薄膜的制备加工和块体材料的制备加工类比：______过程可以看成是原子量级的铸造工艺，_______可以看成是原子量级的表面加工工艺， _______等可以看成是发生在近表面层的原子量级的材料改性工艺BDn答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
A真空薄膜沉积、干法刻蚀、离子注入BDn答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
B真空薄膜沉积、离子注入、干法刻蚀BDn答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
C薄膜电镀、湿法刻蚀、离子注入BDn答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
D干法刻蚀、薄膜平台化、真空薄膜沉积