下图为角度和位移同时测量的双频干涉仪测量原理图。如果位相测量分辨率为1度，波长为0.6328μm，假设空气折射率为1，位移测量分辨率为Pwa答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
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