问题：
[多选题]以下陈述正确的有：
A各项异性湿法腐蚀工艺可以制作圆形硅膜片。
B各项异性湿法腐蚀工艺可以制作方形硅膜片。
C干法深硅刻蚀工艺可以制作圆形硅膜片。
D干法深硅刻蚀工艺可以制作方形硅膜片。
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A各项异性湿法腐蚀工艺可以制作圆形硅膜片。
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D干法深硅刻蚀工艺可以制作方形硅膜片。
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