答案及解析：[多选题]以下陈述正确的有： A各项异性湿法腐蚀工艺可以制作圆形硅膜片。 B各项异性湿法腐蚀工艺可以制作方形硅膜片。 C干法深硅刻蚀工艺可以制作圆形硅膜片。 D干法深硅刻蚀工艺可以制作方形硅膜片。

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[多选题]以下陈述正确的有：
A各项异性湿法腐蚀工艺可以制作圆形硅膜片。
B各项异性湿法腐蚀工艺可以制作方形硅膜片。
C干法深硅刻蚀工艺可以制作圆形硅膜片。
D干法深硅刻蚀工艺可以制作方形硅膜片。

Tags：学堂在线清华大学集成传感器(2021春)课后作业题答案

答案解析：

╋纠错

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