[填空题]微压力传感器中,要想得到线性度好的传感器性能,膜片就不能太薄,初应力要足够(____),压力不能太大,而在满足这些条件的前提下,薄膜厚度越(____)、面积越(____),则灵敏度越高。（选填“大”或“小”）