问题：
[单选题]下列薄膜作用错误的是
A、绝缘膜有氧化硅膜，氮化硅膜等，可用作元件分离膜，栅绝缘膜，电容器介质等
B、金属导体膜有铝薄膜，铜薄膜等，可用作金属布线等
C、半导体膜有外延膜，多晶膜等，可用作层间电极等
D、高低介电常数膜，都是用来作电容器介质膜
[单选题]下列薄膜作用错误的是
A、绝缘膜有氧化硅膜，氮化硅膜等，可用作元件分离膜，栅绝缘膜，电容器介质等
B、金属导体膜有铝薄膜，铜薄膜等，可用作金属布线等
C、半导体膜有外延膜，多晶膜等，可用作层间电极等
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