问题：
[单选题]从下列选项中选出直流二极溅射成膜的正确过程
A、气体放电产生氩离子、金属原子沉积在衬底上、金属靶产生金属原子
B、金属靶产生金属原子、气体放电产生氩离子、金属原子沉积在衬底上
C、气体放电产生氩离子、金属靶产生金属原子、金属原子沉积在衬底上
D、金属原子沉积在衬底上、气体放电产生氩离子、金属靶产生金属原子
[单选题]从下列选项中选出直流二极溅射成膜的正确过程
A、气体放电产生氩离子、金属原子沉积在衬底上、金属靶产生金属原子
B、金属靶产生金属原子、气体放电产生氩离子、金属原子沉积在衬底上
C、气体放电产生氩离子、金属靶产生金属原子、金属原子沉积在衬底上
D、金属原子沉积在衬底上、气体放电产生氩离子、金属靶产生金属原子
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