[单选题]关于离子注入说法错误的是vHS答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
A、离子注入产生缺陷vHS答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
B、离子注入完以后需要退火vHS答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
C、离子注入装置中质量分析作用是祛除杂质vHS答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
D、离子注入和热氧化法差不多