[单选题]关于微影曝光说法错误的是Oie答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
A、图形很小所以叫微影Oie答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
B、掩模尺寸大于实际图形，曝光时要进行微缩投影Oie答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
C、想得到更大的分辨率要用更短的光和孔径更大的透镜Oie答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
D、曝光过程要步进重复，对硅圆片扫描