[判断题]关于布线技术的说法错误的是GAx答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
A、大马士革工艺只在最尖端的器件中使用，玻璃流平和导入CMP技术仍广泛采用GAx答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
B、第四代多层布线技术除了采用W塞柱作层间连接全部采用Cu双大马士革工艺GAx答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
C、大马士革工艺布线中，绝缘阻挡层多用SiO2GAx答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
D、大马士革工艺利用低介电膜的层间绝缘膜结构不需要采用CMP平坦化工