[单选题]在20世纪90年代，MEMS壮大时期，最重要的事情是1996年德国bosch发明了（），利用干法实现硅的深刻蚀，我们今天还有很多器件是通过这种技术制造实现的。SjN答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
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