答案及解析：[单选题]曝光能够实现的最小线条的宽度，随着掩膜版和光刻胶层的距离的增大而______，随着光刻胶厚度的增大而______。 A减小；减小 B减小；增大 C增大；减小 D增大；增大

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[单选题]曝光能够实现的最小线条的宽度，随着掩膜版和光刻胶层的距离的增大而______，随着光刻胶厚度的增大而______。
A减小；减小
B减小；增大
C增大；减小
D增大；增大

Tags：学堂在线清华大学MEMS与微系统(2021春)章节作业题答案

答案解析：

╋纠错

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