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[多选题]TMAH溶液和KOH溶液都能用于各向异性湿法刻蚀，那么TMAH溶液刻蚀和KOH溶液刻蚀相比，有哪些优点？X4q答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
A刻蚀速率较快X4q答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
B与IC兼容X4q答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
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Tags：学堂在线清华大学MEMS与微系统(2021春)章节作业题答案
答案解析：
╋纠错

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