问题：
[单选题]下列哪一项不属于低温稳态刻蚀深刻蚀特性：
A刻蚀侧壁很光滑
B刻蚀与侧壁保护同时进行
C光刻胶掩膜厚度一般大于1.5um
D增大氧气流量能提高侧壁保护
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