[单选题]下列哪一项不属于低温稳态刻蚀深刻蚀特性：cLb答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
A刻蚀侧壁很光滑cLb答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
B刻蚀与侧壁保护同时进行cLb答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
C光刻胶掩膜厚度一般大于1.5umcLb答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
D增大氧气流量能提高侧壁保护