[单选题]下面哪一项不属于厚结构层技术中单晶硅结构的特点Wds答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
ASOI器件层作为单晶硅结构Wds答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
B厚度大，应力低Wds答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
CDRIE刻蚀结构Wds答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
D制造成本低