[多选题]单芯片集成采用一次制造将单个或多个MEMS结构与CMOS信号处理电路制造在一个芯片衬底上，这种集成方式的优点有哪些？mWd答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
A面积小mWd答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
B工艺兼容性要求低mWd答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
C可靠性高mWd答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
D噪声小