答案及解析：[多选题]单芯片集成根据工艺顺序不同，可以分为Pre CMOS、Intra CMOS、Post CMOS这几种方法，Pre CMOS方法有哪些缺点： AMEMS会对CMOS产生污染 BCMOS会对MEMS产生污

问题：

[多选题]单芯片集成根据工艺顺序不同，可以分为Pre CMOS、Intra CMOS、Post CMOS这几种方法，Pre CMOS方法有哪些缺点：
AMEMS会对CMOS产生污染
BCMOS会对MEMS产生污染
CMEMS的高温工艺过程会对CMOS造成影响
DCMOS的高温工艺过程会对MEMS造成影响