[多选题]硅材料是MEMS微型传感器的主要材料，原因有哪些？wUA答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
A工艺开发比较完善wUA答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
B硅的弹性模量大wUA答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
C硅微型传感器可以和IC集成wUA答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
D可以实现多种敏感机理的检测器件