答案及解析：[多选题]德国Bosch公司的“先进多孔硅薄膜”制造方法生产的压阻式压力传感器的特点有： A精度相当高 B利用阳极氧化制造多孔硅 C不需要键合工艺 D不需要外延单晶硅薄膜

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[多选题]德国Bosch公司的“先进多孔硅薄膜”制造方法生产的压阻式压力传感器的特点有：
A精度相当高
B利用阳极氧化制造多孔硅
C不需要键合工艺
D不需要外延单晶硅薄膜

Tags：学堂在线清华大学MEMS与微系统(2021春)章节作业题答案

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