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问题：

[多选题]MEMS开关有哪些缺点？
A需要比较大的驱动电压
B开关速度慢
C需要真空封装、成本较高
D存在可靠性问题

Tags：学堂在线清华大学MEMS与微系统(2021春)章节作业题答案

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