[多选题]光学MEMS是指由MEMS器件在光学系统中的应用。MEMS之所以在光学领域有广泛的应用，是由于：YVW答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
AMEMS器件有优异的光学性能YVW答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
BMEMS器件有优异的驱动性能YVW答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
C精确的尺寸和位移控制YVW答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
D能将微加工技术和控制电路集成