答案及解析：[单选题]下列关于固体浸没式椭偏仪的说法错误的是[ ] A固体浸没式椭偏仪可以用来精确测量薄膜的厚度和折射率； B固体浸没隧穿椭圆偏振仪不仅适合超薄薄膜，也适合厚膜； C固体浸没式椭偏仪，可以在极小的

问题：

[单选题]下列关于固体浸没式椭偏仪的说法错误的是[ ]
A固体浸没式椭偏仪可以用来精确测量薄膜的厚度和折射率；
B固体浸没隧穿椭圆偏振仪不仅适合超薄薄膜，也适合厚膜；
C固体浸没式椭偏仪，可以在极小的面积上进行精确的椭偏测量，通过扫描样品可以获得薄膜厚度和折射率变化的高质量图像；
D由于存在大于或小于临界角的角度，该仪器能够测量亚纳米到几微米的薄膜图案，横向分辨率可达100纳米；