[多选题]采用溅射法沉积薄膜的过程有()onE答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
A靶的溅射onE答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
B逸出粒子的形态onE答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
C溅射粒子向基片的迁移onE答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
D在基板上成膜的过程