[单选题]电子束特别适合于加工半导体材料，其主要原因是电子束加工Cks答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
A加工效率高Cks答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
B工件变形小Cks答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
C在真空条件下进行Cks答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
D可控性好