[单选题]硅微体刻蚀加工和硅微面刻蚀加工的区别在于hV4答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
A体刻蚀加工对基体材料进行加工，而面刻蚀加工不对衬底材料进行加工hV4答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
B体刻蚀加工不对基体材料进行加工，而面刻蚀加工对衬底材料进行加工hV4答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
C体刻蚀加工可获得高纵横比的结构，面刻蚀加工只能获得较低纵横比的结构hV4答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
D体刻蚀加工不对基体材料进行加工，面刻蚀加工不对衬底材料进行加工