答案及解析：[多选题]硅微体刻蚀加工和硅微面刻蚀加工的区别在于（） A硬度 B体刻蚀加工对基体材料进行加工 C体刻蚀加工可获得高纵横比的结构， D面刻蚀加工只能获得较低纵横比的结构

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[多选题]硅微体刻蚀加工和硅微面刻蚀加工的区别在于（）
A硬度
B体刻蚀加工对基体材料进行加工
C体刻蚀加工可获得高纵横比的结构，
D面刻蚀加工只能获得较低纵横比的结构

Tags：学堂在线武汉理工大学先进制造技术以工程应用概论课程(2022春)课后习题答案

答案解析：

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