气相沉积技术,依据沉积过程反应的性质,可以分为:物理气相沉积(简称PVD)和化学气相沉积(简称CVD)。其中(     )应用更为广泛,技术发展及研究相对更为成熟。9aF答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台

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