借助惰性气体(如Ar)的辉光发电使沉积材料蒸发成离子化,离子经电场加速,沉积在带负电荷的工件表面,形成薄膜镀层,该过程称为(     )。ctc答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台

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