问题：
[多选题]对于物理气相沉积和化学气相沉积的区别,叙述正确的是( )
A
在物质源上,物理气相沉积为生成膜物质的蒸汽、反应气体,而化学气相沉积是含有生成膜元素的化合物蒸汽、反应气体等
B
在激活方法上,物理气相沉积通过消耗蒸发热、电离等,化学气相沉积提供激活能、高温、化学自由能
C
二者的制作温度、成膜速度、基体材料、制品用途等方面也有较大区别
D
物理气相沉积比化学气相沉积成本高
[多选题]对于物理气相沉积和化学气相沉积的区别,叙述正确的是( )
A
在物质源上,物理气相沉积为生成膜物质的蒸汽、反应气体,而化学气相沉积是含有生成膜元素的化合物蒸汽、反应气体等
B
在激活方法上,物理气相沉积通过消耗蒸发热、电离等,化学气相沉积提供激活能、高温、化学自由能
C
二者的制作温度、成膜速度、基体材料、制品用途等方面也有较大区别
D
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