化学气相沉积()法三个基本步骤主要包括(     )Nej答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台

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沉积设备的预处理Nej答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台

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首先形成挥发性物质Nej答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台

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再将挥发性物质转移至沉积区域Nej答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台

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在固体上产生化学反应并产生固态物质Nej答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台