[判断题]根据目标层的图案成型方式，刻蚀可以分为____和____两类，其中前者利用气体与等离子体与衬底发生反应来形成，而后者主要利用化学试剂与被刻蚀材料发生反应进行刻蚀。（选填干法/湿法）