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[单选题]物理气相沉积(PVD)中,旋转靶材或者基板的主要目的是ua1答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
A使得所镀薄膜的厚度均匀ua1答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
B使得所镀薄膜和基板的结合牢固ua1答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
C有利于均匀受热和散热ua1答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
D选择使所镀的薄膜各向同性
答案解析:

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