[单选题]铜的互连技术普遍采用大马士革工艺，大马士革工艺中用到哪种平坦化技术auF答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
A低压CVDauF答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
B电子回旋共振auF答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
C热回流auF答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
D化学机械抛光