[多选题]在上一题的语境中,改变数值孔径的途径包括()17n答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
A改变物镜的光学孔径17n答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
B改变曝光光束的入射角17n答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
C采用各种短波长曝光技术17n答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
D改变物镜与光刻胶之间的介质折射率