[多选题]在MEMS加工中,薄膜沉积需要考虑的问题有()B2g答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
A厚度均匀性B2g答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
B性能一致性B2g答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
C纯度和密度B2g答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
D与衬底良好的粘附性B2g答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
E台阶覆盖B2g答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
F间隙填充B2g答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
G残余应力