[多选题]物理气相沉积中的溅射法是在等离子体环境下进行的,按照等离子产生和控制的方式可分为()xeY答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
A直流溅射xeY答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
B射频溅射xeY答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
C热溅射xeY答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
D磁控溅射