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[判断题]任何沉积工艺都会在薄膜中产生应力,应力来源主要包括薄膜生长过程中产生的本征应力,以及由于薄膜与衬底的热膨胀系数不匹配而导致的热应力。()
Tags：学堂在线清华大学微机电系统技术及应用(2021春)课后作业题答案
答案解析：
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