[判断题]如何控制硅片腐蚀深度是体微加工技术的关键,控制方法主要有:控制腐蚀时间、设计腐蚀窗口的形状和方向、进行硼重掺杂、利用氧化硅或氮化硅薄层、采用电化学自停止技术。()