[单选题]热氧化法的作用是什么？brp答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
A、获得优良的SiO2绝缘膜brp答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
B、退火，降低位错密度brp答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
C、提高集成电路的稳定性brp答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
D、去除杂质