在气体辉光放电炉中,用正离子轰击阴极(待沉积材料作的靶),将其原子溅射出,并通过气相沉积到工件表面上形成薄膜镀层,该过程称为(     )。z2M答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台

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