答案及解析：[多选题]等离子体增强化学气相沉积中等离子体的作用是： A将反应物中的气体分子激活成活性离子，降低反应所需的温度； B加速反应物在表面的扩散作用（表面迁移），提高成膜速度； C对于基体及膜层表面具有溅射作用，溅

问题：

[多选题]等离子体增强化学气相沉积中等离子体的作用是：
A将反应物中的气体分子激活成活性离子，降低反应所需的温度；
B加速反应物在表面的扩散作用（表面迁移），提高成膜速度；
C对于基体及膜层表面具有溅射作用，溅射掉那些结合不牢的粒子，加强了形成的薄膜和基板的附着力；
D等离子体能够降低镀膜气体分子的平均自由程