[多选题]干法刻蚀一般通过气体放电产生离子或者活性基对薄膜进行刻蚀，干法刻蚀可以实现各向异性刻蚀，原因是Bvn答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
A离子可用电磁场对其能量和运动方向进行控制Bvn答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
B活性基的运动是随机的Bvn答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
C活性基可以对基板进行化学刻蚀Bvn答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
D离子的动能不一样，刻蚀速率不一样