[填空题]微纳加工技术中通过以下步骤将光刻版的图形转移到晶圆上：薄膜淀积（加材料）-  ____（定义图形）-  刻蚀（减材料） 或者光刻（定义图形）- 薄膜淀积（加材料）-  剥离（减材料）