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[多选题]微镜阵列中，所有淀积的金属层作用包括
A作为铰链
B作为牺牲层
C用于轭和图形
D用于引出和传输底部的电路控制信号

Tags：学堂在线清华大学微纳加工技术(2021春)章节作业题答案

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