[多选题]各向同性的湿法刻蚀在MEMS工艺中应用主要有v4U答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
A去除表面损伤v4U答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
B消除尖角v4U答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
C降低表面的残余应力v4U答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
D其他加工后表面的抛光 减薄和刻蚀或者用于刻蚀圆形通道