[多选题]防止悬空的结构塌陷掉的解决方法有hdR答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
A改进光刻工艺hdR答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
B使用有机支柱hdR答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
C采用反粘滞的方法hdR答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
D使用各向异性的刻蚀方法去掉牺牲层