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[单选题]微纳加工技术中主要使用的薄膜制备技术有热氧化、 ALD技术、CVD技术、外延、蒸发、溅射、电镀等
A正确
B错误

Tags：学堂在线清华大学微纳加工技术(2021春)章节作业题答案

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