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[单选题]
如果要求淀积非金属薄膜的台阶覆盖性（保角特性）好，应该使用下列哪种工艺？Hv2答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
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Tags：学堂在线清华大学微纳加工技术(2021春)章节作业题答案
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