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[填空题]初始氧化层足够薄、氧化时间短时，氧化过程主要处于线性氧化区，氧化速率受____限制；氧化层足够厚、氧化时间长时，氧化过程主要处于____区，氧化速率受扩散速率限制
Tags：学堂在线清华大学微纳加工技术(2021春)章节作业题答案
答案解析：
╋纠错

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