学堂在线清华大学MEMS与微系统(2021春)章节作业题答案
- 下列哪些应用可以采用表面微加工技术实现？ A加速度传感器 B可动微镜 C微马达 2021-05-18
- 由Sandia国家实验室开发的Summit V表面微加工工艺，一个典型特点是采用了____ 2021-05-18
- 目前，传统的集成电路代工厂和MEMS工艺代工厂都能够提供表面微加工工艺的代工 2021-05-18
- 残余应力是薄膜最重要的力学性质之一，可以分为拉应力和压应力。 2021-05-18
- 表面微加工技术中会出现哪些问题？ A薄膜残余应力 B粘连 C结构层非平整 2021-05-18
- 在选择结构层材料和牺牲层材料时，要求二者之间必须有较高的刻蚀选择比。 2021-05-18
- 以下哪些结构需要采用表面微加工技术实现？ A薄膜结构 B高深宽比的硅通孔 C多 2021-05-18
- 利用干法深刻蚀制造的微针，其侧壁面方向为110面。 2021-05-18
- 下列哪一项不属于低温稳态刻蚀深刻蚀特性： A刻蚀侧壁很光滑 B刻蚀与侧壁保护 2021-05-18
- 在反应离子刻蚀中，若增大压强，则离子的方向性_____，刻蚀速度_____。 A变差；变快 2021-05-18
- TMAH溶液和KOH溶液都能用于各向异性湿法刻蚀，那么TMAH溶液刻蚀和KOH溶液刻蚀 2021-05-18
- 在用KOH溶液或者TMAH溶液进行各向异性湿法刻蚀时，控制刻蚀停止的方法有哪些？ 2021-05-18
- 手机中的相机防抖功能是利用加速度传感器实现的。 2021-05-18
- 在20世纪90年代，MEMS壮大时期，最重要的事情是1996年德国bosch发明了（），利用干法 2021-05-18
- 下列典型的MEMS产品中属于执行器的是： A微镜 B陀螺仪 C加速度计 D麦克风 2021-05-18
- 应力是内力还是外力 A内力 B外力 2021-05-18
- 应变有无量纲 A有量纲 B无量纲 2021-05-18
- 对于硅材料，在弹性刚度系数矩阵中，独立的弹性刚度系数有几个 A9个 B6个 C3个 2021-05-18
- 弹性梁在受到弯矩作用时存在一个中性面，中性面在外力的作用下长度不会发生改 2021-05-18
- 折线梁处于串联状态时，两个梁上对应位置的位移不同，但轴向力相同。 2021-05-18
- 薄板的厚度t与宽度b的比值t/b，要满足的关系是：（） At/b小于1/80 Bt/b大于1/80小 2021-05-18
- 下列哪一项不属于微流体的特点： A表面积体积比很大 B热传导缓慢 C流体阻力大 2021-05-18
- 极板电压恒定时，电容极板间的静电力随极板面积的增大而减小。 2021-05-18
- 电容的静电力大小正比于电容尺度的平方。 2021-05-18
- 由于MEMS结构的线条通常比较宽，所以多采用什么曝光方式？ A接近式曝光 B接触式 2021-05-18
